▲ 사진=픽사베이

초미세 반도체의 불량률을 줄이는 데 핵심적인 국내 첨단 기술 ‘초임계 세정 장비’가 중국으로 유출된 정황이 포착돼 검찰이 수사 중이다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부는 부정경쟁방지와 영업비밀보호법 위반 혐의로 삼성전자 자회사 세메스의 전직 연구원 2명과, 부품 협력사 직원 2명을 구속기소했다고 밝혔다.

이들이 빼돌린 것은 세메스 측이 2018년 세계 최초로 개발해 삼성전자에만 납품해 온 ‘초임계 세정 장비’이다.

피의자들은 2018년 중국의 한 연구소와 접촉해 초임계 세정 장비를 그대로 만들어 줄 수 있다며 생산 설비가 없는 상태에서 18억여 원을 받아낸 것으로 조사됐다. 이들은 중국과 합작 회사를 설립해 초임계 세정 장비를 만든 뒤 대가로 총 800억원을 받은 것으로 드러났다.

초임계 세정 장비는 액체도 기체도 아닌 ‘초임계’ 상태의 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비로 기판의 손상을 최소화해 수율을 높이는 장비이다.